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掃描電鏡等離子清洗機

簡要描述:CIF 掃描電鏡等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

  • 產品型號:CIF-SEM
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2023-09-13
  • 訪  問  量:2769

詳細介紹

品牌CIF產地類別國產
應用領域醫療衛生,環保,生物產業,地礦,能源

CIF 掃描電鏡(SEM)等離子清洗機采用遠程、原位雙等離子清洗源設計,并可自動切換,一機多用。遠程等離子體清洗快速高效低轟擊損傷,同時可實現常規等離子清洗。主要用于SEM或FIB等電鏡腔體內碳氫化合物的清洗。

 

掃描電鏡等離子清洗機產品特點

v 雙等離子清洗源

v 一機多用

v 高效低損傷


掃描電鏡等離子清洗機技術參數

產品型號

CIF-SEM

法蘭接口

KF40

工作氣壓

0.3-3Pa

等離子電源

13.56MHz射頻電源,射頻功率5-100W可調,自動匹配器

氣體控制

標配雙路50毫升/分氣體質量流量控制器(MFC),精確測量自動控制氣體流量,不會受環境溫度和壓力變化影響

氣源選擇

根據需求可選擇氧氣、氬氣、氮氣、氫氣等多種清洗氣源

真空控制

美國MKS公司925-12010皮拉尼真空計,測量范圍1E-5Torr

真空保證

真空計和電磁閥安全互鎖

操控方式

7寸全彩觸摸屏控制,中英文互動操作界面

電源/功率

220V,50/60Hz,300W

可選配件

可選氧氣、氮氣、氫氣發生器, 氫氣純度﹥99.999%,輸出流量0-300ml/min

質量保證

二年質保,終身維護

 

 

 

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